信頼される人材 と 信頼される仕事 「Trust & Technology」を通じ社会に貢献。それが「株式会社ヒューマンウェイブ」です。
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  トップページ 事業紹介 フィールド/メンテナンスサービス 半導体/FPD製造装置  
 



 
フィールド/メンテナンスサービス事業
半導体/FPD製造装置

  •  arrow03 装置(前工程)の組立・据付・立上

  •  【実績】 DRY-ETCH、CVD、PVD、露光、CMP、インプラ、
          洗浄、コーターデベロッパー

  • arrow03 装置(前工程)のオーバーホール、改造

  •  【実績】 DRY-ETCH、CVD

  • arrow03 装置(前工程)のオンコールサービス

     【実績】 DRY-ETCH、CVD

    arrow03 装置・ライン(前工程)のメンテナンス請負

     【実績】 DRY-ETCH、CVD

    arrow03 装置(前工程)部品の再生・リペアサービス詳細ページへ

     【実績】 各種シリンダー(多機種)、各種バルブ(多機種)、ファン、
          チラーユニット(循環ポンプ、ユニットO/H)、
          各種モーター、基板解析(電源、その他各種)、磁器シール

    arrow03 真空ポンプのオーバーホール詳細ページへ

     【実績】 ドライ真空ポンプ、ロータリーポンプ、クライオポンプ、ターボポンプ

      ポンプ・パーツ販売サイト Just Store   → 詳細ページへ
      

    arrow03 自社開発製品 コントロールボックス詳細ページへ

      従来の製造装置でのシステムや運用ルールはそのまま
      CRTモニタとライトペンシステムをタッチパネル・ディスプレイに置換えます。
      
 
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